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簡(jiǎn)要描述:全新外觀(guān)設計,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作*進(jìn)的設計理念,模塊化設計可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制 可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運動(dòng)控制系統,提高實(shí)驗精度及重復性
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | LEBO/雷博 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
全新外觀(guān)設計,適配實(shí)驗室實(shí)驗操作
*進(jìn)的設計理念,模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動(dòng)控制系統,提高實(shí)驗精度及重復性
產(chǎn)品參數
轉速范圍:20-10000rpm
轉速分辨率:±1rpm
加速度可調范圍:20-50000rpm/s
單步時(shí)長(cháng):3000s
時(shí)間分辨率:0.1s
適用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤(pán)
可添加背洗功能(根據客戶(hù)需求而定)
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