勻膠機利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。主要用于材料浸入液體,膠體中經(jīng)提拉在表面形成薄膜,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,木材,金屬等所有固體材料表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產(chǎn)中應用。
勻膠機的旋轉涂覆技術(shù):
旋轉涂覆技術(shù)所使用的設備是勻膠機。它的原理是在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
從其原理來(lái)說(shuō),勻膠機有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
(1)旋轉速度
轉速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。轉速控制方面有國際認定標準,如美國NIST標準等。
(2)真空吸附系統
真空泵一般采用無(wú)油泵,即通常說(shuō)的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì )讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制,當真空吸附力不夠時(shí)不會(huì )開(kāi)始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統。
勻膠機的主要特點(diǎn):
1、計算機控制運行,運行參數記憶,一鍵復位,保障試驗過(guò)程可重復。
2、實(shí)時(shí)數據顯示,方便觀(guān)察實(shí)驗現象。到位自動(dòng)停機,聲音報告。
3、高精度直線(xiàn)導軌控制運行軌跡,保障運行軌跡的精確直線(xiàn)性。
4、2個(gè)工作位:可安放2個(gè)燒杯,內盛不同粘度的膠體。
5、每個(gè)工作位可夾持1個(gè)以上的“玻片”。
6、工作效率更高。
7、彈簧夾持“玻片”,結構更簡(jiǎn)單,操作更方便。