烤膠機是針對半導體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設計的一款產(chǎn)品,是—種設計為精確控溫、準確計時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗窒設備,帶有真空吸附、頂針定位烤膠、線(xiàn)性升溫等功能,可實(shí)現智能化編程烤膠控制。儀器采用高精度微處理器,溫度控制更加精確??赏瑫r(shí)顯示設定溫度和實(shí)際溫度,外觀(guān)小巧精致,更適宜通風(fēng)櫥使用。結構簡(jiǎn)單,可靠性高,元器件均做防腐蝕處理加熱部件與元器件分離設計,更加耐用。
烤膠機外殼采用不銹鋼鍍膜處理,耐氧化不變色。加熱部件采用高溫加熱盤(pán)管,具有使用壽命長(cháng),加熱均勻性高的特點(diǎn)。采用新穎的數字式加熱設計,可以精準的控制表面溫度;堅固耐腐蝕的硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁面板,優(yōu)異的導熱性可以滿(mǎn)足多種應用場(chǎng)景;數字式顯示器可迅速編碼準確控制溫度;獨立的防過(guò)熱電路設計,確保實(shí)驗安全。
烤膠機采用全彩觸摸屏操作,高級PLC控制,所有運行參數如加熱時(shí)間、頂升高度的選擇等都可在觸屏上方便設置。程控準確計時(shí),控溫精度高。全不銹鋼機身,經(jīng)久耐用,發(fā)熱部件采用特殊的隔熱設計,均勻性高、使用壽命長(cháng)??纱尜A多組烤膠配方,每個(gè)配方加熱階段,加熱時(shí)間和頂針高度可調。熱板表面還帶真空吸附功能,確?;c熱板表面緊密接觸式烤膠。還可提供恒溫模式和線(xiàn)性控溫模式烤膠程序,可實(shí)現溫度的線(xiàn)性加熱和降溫控制。